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近日，苏州致源真空科技有限公司成立，注册资本5000万元，经营范围包含：半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；泵及真空设备制造；泵及真空设备销售等。企查查股权穿透显示，该公司由华源控股（002787）全资子公司苏州华源半导体有限公司等共同持股。

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